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超声波扫描显微镜、

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超声波扫描显微镜，是半导体后封装失效分析的一个强有力工具，这里是老牌德国KSI超声波扫描显微镜的中国区服务和销售中心。它主要针对电子器件和集成电路的失效分析、芯片失效分析。超声波扫描显微镜，还对电力半导体模块的大功率器件的键合层作失效分析。现在还被用来作检测复合材料内部结构缺陷的失效分析。

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德 国 k s i （ 中 国 ） 服 务 中 心 德 国 K S I （ 中 国 ） 服 务 中 心 首 页 扫 描 声 学 显 微 镜 仪 器 耗 材 及 配 件 知 识 库 关 于 我 们 联 系 我 们 首 页 超 声 波 扫 描 显 微 镜 单 探 头 多 用 途 超 声 波 显 微 镜 v 3 0 0 E v 3 0 0 E A d v a n c e d v 4 0 0 E v 7 0 0 E v 1 0 0 0 E 多 探 头 超 声 波 扫 描 显 微 镜 v d u o 双 探 头 系 统 v q u a t t r o 四 探 头 系 统 v o c t o 八 探 头 系 统 全 自 动 工 业 超 声 波 显 微 镜 i W a f e r 晶 圆 缺 陷 检 测 i I n g o t 晶 锭 缺 陷 检 测 纳 米 级 扫 描 声 学 显 微 系 统 N a n o 高 分 辨 声 学 显 微 系 统 仪 器 耗 材 和 备 件 润 滑 油 品 N 6 2 L V 0 1 0 0 A / D 卡 － 设 备 维 修 备 件 样 品 声 学 测 试 与 分 析 案 例 大 功 率 器 件 I G B T 声 学 分 析 如 何 解 读 声 学 测 试 图 像 ？ 超 声 波 扫 描 显 微 镜 知 识 库 基 础 知 识 基 本 工 作 原 理 什 么 是 换 能 器 换 能 器 的 焦 距 换 能 器 的 声 场 换 能 器 与 分 辨 率 和 穿 透 深 度 什 么 是 透 射 工 作 模 式 超 声 术 语 表 一 超 声 术 语 表 二 德 国 k s i （ 中 国 ） 服 务 中 心 德 国 K s i ( 中 国 ） 服 务 中 心 上 海 办 公 室 已 搬 到 新 址 ， 如 有 快 递 信 函 ， 请 寄 到 新 址 ： 上 海 市 闵 行 区 瓶 安 路 1 3 5 8 号 1 # 1 1 2 室 这 里 是 老 牌 德 国 厂 商 K S I 公 司 在 中 国 的 技 术 服 务 中 心 负 责 K S I 系 统 设 备 在 大 中 华 区 的 销 售 和 服 务 ， 包 括 大 陆 、 台 湾 、 香 港 、 澳 门 ！ 超 声 波 扫 描 显 微 镜 ， 英 文 是 ： S c a n n i n g A c o u s t i c M i c r o s c o p e ， 简 称 S A M ， 由 于 它 的 主 要 工 作 模 式 是 C 模 式 ， 因 此 也 简 称 ： C S A M 。 现 在 做 失 效 分 析 的 第 三 方 实 验 室 里 ， 这 个 设 备 直 接 被 通 称 为 C S A M ， 就 像 X 射 线 透 射 机 被 通 称 为 X R a y 一 样 。 应 用 领 域 半 导 体 电 子 行 业 ： 半 导 体 晶 圆 片 、 封 装 器 件 、 大 功 率 器 件 I G B T 、 红 外 器 件 、 光 电 传 感 器 件 、 S M T 贴 片 器 件 、 M E M S 等 ; 材 料 行 业 ： 复 合 材 料 、 镀 膜 、 电 镀 、 注 塑 、 合 金 、 超 导 材 料 、 陶 瓷 、 金 属 焊 接 、 摩 擦 界 面 等 ； 生 物 医 学 ： 活 体 细 胞 动 态 研 究 、 骨 骼 、 血 管 的 研 究 等 . 上 个 世 纪 的 9 0 年 代 中 ， 微 电 子 器 件 的 大 规 模 生 产 制 程 中 ， 发 现 I C 的 D i e 上 下 表 面 脱 层 ， 锡 球 / 芯 片 裂 缝 、 或 填 胶 中 的 裂 缝 、 封 装 材 料 （ 很 多 塑 封 材 料 ） 内 部 的 气 孔 等 缺 陷 ， 无 法 用 常 规 的 X r a y 失 效 分 析 手 段 检 测 到 ， 此 时 ， 一 种 新 型 的 测 试 技 术 被 引 入 到 芯 片 的 后 封 装 测 试 领 域 ， 它 就 是 超 声 波 扫 描 显 微 镜 。 说 是 显 微 镜 ， 其 实 它 与 常 规 的 光 学 显 微 镜 两 者 没 有 任 何 关 系 ， 只 是 因 为 这 个 设 备 最 早 是 由 国 外 厂 家 先 行 研 发 并 投 入 到 生 产 领 域 ， 这 个 名 字 也 是 直 接 从 外 文 直 译 过 来 ， 因 此 中 文 严 格 可 以 称 为 ： 中 高 频 超 声 波 无 损 检 测 系 统 ， 或 许 更 为 合 适 。 工 作 原 理 超 声 波 扫 描 显 微 镜 有 两 种 工 作 模 式 ： 基 于 超 声 波 脉 冲 反 射 和 透 射 模 式 工 作 的 。 反 射 模 式 是 主 要 的 工 作 模 式 ， 它 的 特 点 是 分 辨 率 高 ， 对 待 测 样 品 厚 度 的 没 有 限 制 。 透 射 模 式 只 在 半 导 体 企 业 中 用 作 器 件 筛 选 。 该 系 统 的 核 心 就 是 带 压 电 陶 瓷 的 微 波 链 ， 压 电 陶 瓷 在 射 频 信 号 发 生 的 激 励 下 ， 产 生 短 的 声 脉 冲 ， 随 后 这 些 声 脉 冲 被 声 透 镜 聚 焦 在 一 起 ， 超 声 波 扫 描 显 微 镜 的 这 个 带 压 电 陶 瓷 的 部 件 叫 换 能 器 ， 英 文 是 ： T r a n s d u c e r 。 换 能 器 既 能 把 电 信 号 转 换 成 声 波 信 号 ， 又 能 把 从 待 测 样 品 反 射 或 透 射 回 来 的 声 波 信 号 转 换 成 电 信 号 ， 送 回 系 统 进 行 处 理 。 换 能 器 负 责 将 电 磁 脉 冲 转 换 成 声 脉 冲 ， 离 开 换 能 器 后 ， 声 波 被 声 透 镜 通 过 耦 合 介 质 （ 一 般 是 去 离 子 水 或 无 水 酒 精 等 ） 聚 焦 在 样 品 上 。 耦 合 介 质 是 为 了 防 止 超 声 波 信 号 快 速 衰 减 ， 因 为 超 声 波 信 号 在 一 些 稀 疏 介 质 中 传 播 是 ， 会 快 速 衰 减 。 样 品 置 于 耦 合 介 质 中 ， 只 要 声 波 信 号 在 样 品 表 面 或 者 内 部 遇 到 声 波 阻 抗 介 面 （ 如 遇 到 孔 隙 、 气 泡 、 裂 纹 等 ） ， 就 会 发 生 反 射 。 换 能 器 接 收 到 反 射 信 号 后 ， 会 将 其 转 换 成 电 脉 冲 ， 超 声 波 信 号 转 换 成 电 脉 冲 后 表 征 为 2 5 6 级 灰 度 值 。 每 只 换 能 器 都 有 其 特 定 的 超 声 波 频 率 ， 凯 斯 安 公 司 可 以 针 对 用 户 的 需 要 特 别 配 置 。 这 个 过 程 就 是 超 声 波 扫 描 显 微 镜 反 射 工 作 模 式 的 基 本 过 程 。 另 一 种 工 作 模 式 叫 透 射 模 式 。 透 射 扫 描 时 ， 样 品 下 方 要 安 装 另 外 一 只 换 能 器 ， 这 只 换 能 器 会 接 收 所 有 完 全 穿 透 样 品 的 超 声 波 信 号 。 根 据 接 收 的 信 号 就 能 还 原 出 各 种 超 声 波 C 扫 图 像 。 在 失 效 分 析 中 的 应 用 晶 圆 面 处 分 层 缺 陷 锡 球 、 晶 圆 、 或 填 胶 中 的 开 裂 晶 圆 的 倾 斜 各 种 可 能 之 孔 洞 （ 晶 圆 接 合 面 、 锡 球 、 填 胶 … 等 ） 在 失 效 分 析 中 的 优 势 非 破 坏 性 、 无 损 检 测 材 料 或 I C 芯 片 内 部 结 构 可 分 层 扫 描 、 多 层 扫 描 实 施 、 直 观 的 图 像 及 分 析 缺 陷 的 测 量 及 缺 陷 面 积 和 数 量 统 计 可 显 示 材 料 内 部 的 三 维 图 像 对 人 体 是 没 有 伤 害 的 可 检 测 各 种 缺 陷 （ 裂 纹 、 分 层 、 夹 杂 物 、 附 着 物 、 空 洞 、 孔 洞 等 ）   德 国 k s i （ 中 国 ） 服 务 中 心 沪 I C P 备 0 9 0 5 7 0 3 4 号 5 沪 公 网 安 备 3 1 0 1 1 2 0 2 0 1 2 2 2 4 号 F T P H o s t i n g b y S i t e G r o u n d v a l i d x h t m l v a l i d c s s

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